Контрол на чистотата на месинговите фитинги в полупроводникови специални газови системи
Въведение в полупроводниковите специални газови системи
Процесите на полупроводниково производство изискват ултра чисти, силно контролирани среди.
Системите за доставка на специални газове играят критична роля в стъпките за офорт, отлагане, допинг и почистване.
Газове като силан, амоняк, водороден хлорид и азотен трифлуорид изискват транспортни пътеки с висока чист.
Месинговите фитинги, макар и не винаги първият избор, понякога се прилагат във вторични линии или системи за поддръжка.
Поддържанехимическа чистота и структурна цялостна месинговите фитинги е жизненоважно, за да се избегне замърсяване.
Значение на материалната чистота в полупроводниковите приложения
Полупроводниците са изключително чувствителни към примеси на молекулно ниво.
Дори замърсяването на части на милиард (PPB) от тръбопроводи или фитинги може да доведе до загуба на добив или повреда на устройството.
Изгряването, корозията или повърхностните реакции в газовите линии трябва да бъдат строго контролирани.
Това прави избора на материали и управлението на чистотата са централни за проектирането на газовата система.
Месингът, с подходящ довършителен и контрол на качеството, може да отговаря на тези стандарти в некритичните газови линии.
Състав и притеснения на месинговия материал
Стандартният месинг е сплав от мед и цинк, понякога съдържащ олово или калай.
Примеси като сяра, фосфор или остатъчни масла могат да компрометират нивата на чистота.
Месингът с висока олово се избягва строго в чисти или полупроводникови приложения.
Самониско олово, устойчиво на дезинкерификация (DZR)Месингът трябва да се счита за такива среди.
Производителите трябва да предоставятМатериални сертификатиПотвърждаване на спазването на стандартите SEMI, ASTM или ROHS.
Изисквания за покритие и електрополиране на повърхността
Вътрешното повърхностно покритие на месинговите фитинги значително влияе на чистотата на газовата система.
Грубите или порестите повърхности улавят влагата, въглеводородите и частиците, причинявайки дългосрочно замърсяване.
За да се противопоставят на това, фитингите често саелектрополиранЗа постигане на гладка, пасивирана вътрешна повърхност.
Грубостта на целевата повърхност (RA) обикновено е по -малка от0.2 µmЗа линии за разпределение на газ.
Пост-полиране, фитингите претърпяват почистване вултрачисти разтворителипоследвано от вакуумно сушене и прочистване на азот.
Контрол на частиците и опаковане на чисти помещения
Месинговите фитинги за полупроводникови газови системи трябва да отговарят на строгитеСпецификации на броя на частиците.
Всички разхлабени частици или метални люспи могат да бъдат пагубни за чувствителни към газ вафли.
За да се справят с това, фитингите претърпяват висока чистотаУлтразвуково почистванеИзползване на DI Water и Class 100 Cleanroom Стандарти.
Веднъж почистени, фитингите саДвойно прибранав опаковане на чисти стаи, за да се предотврати повторно замърсяване.
Етикетите често включват проследяване на партиди, информация за почистване на партидата и индикатори за контрол на влагата.
Пасивация и покрития за химическа стабилност
Тъй като месингът е по -реактивен от неръждаемата стомана, повърхностната пасивация е от решаващо значение.
Методите за пасивация включват контролирано окисляване, покрития без хромиране илиникелово покритие.
Никеловите или електрическите никелови покрития служат като бариерен слой за предотвратяване на извличане на цинк или окисляване.
Това покритие също повишава химическата съвместимост с газове като HF или CLF₃.
Редовните проверки на дебелината на покритието и тестовете за адхезия гарантират издръжливостта в системите под налягане.
Инспекция, сертифициране и проследяване
Месинговите фитинги с висока чист трябва да преминатинспекция на много ниваПреди интегриране в газови линии.
Тестването включва:
Тест за теч на хелий (обикновено<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Анализ на остатъчен газ (RGA)
Микробаланс тестове за проливане на частици
XRF или ICP-MS за проверка на материала
Всеки монтаж трябва да бъде напълноПроследяващ се по номер на партидата, с асоциираниСертификати за съответствие (COC).
Някои съоръжения изискват одити на трети страни или документация за сертифициране на ISO 14644.
Граници и алтернативи на приложението
Докато месингът може да отговаря на критериите за чистота, използването му еограничени до некритични пътекив полупроводникови фабрики.
За газови линии с ултра висока чистота (UHP),316L неръждаема стомана с видеорекордер или орбитални заваркие предпочитан.
Месинговите фитинги могат да се прилагат в изпускателни системи, линии на чистка илиОбработват охлаждащите водни системи.
Когато се избира правилно и се обработва по подходящ начин, месингът осигурява рентабилно, стабилно решение.
Бъдещият напредък в технологията за покритие и почистване може да разшири полезността си в приложения за полупроводници.
Заключение
Контролът на чистотата в месинговите фитинги за полупроводникови специални газови системи е както сложен, така и съществен.
От избора на материали до повърхностното завършване и опаковане, всяка стъпка влияе върху качеството на газа.
Докато месингът не е идеален за приложения с висока чистота, усъвършенстваното лечение и контролът на качеството могат да го направят жизнеспособен в избрани зони.
Чрез строги проверки, пасивация и сертифициране тези фитинги могат безопасно да поддържат производствена среда за производство на чипове от следващо поколение.
Свържете се с ifan
Телефон:+86 15088288323
